Жұқа қабықшалы жабындарға арналған нысаналарды шашыратуда қолданылатын негізгі материалдар

Шашырату процесі нысана деп аталатын бастапқы материалды буландырып, жартылай өткізгіштер, әйнек және дисплейлер сияқты өнімдерге жұқа, жоғары өнімді пленка жағады. Нысананың құрамы жабынның қасиеттерін тікелей анықтайды, бұл материалды таңдауды маңызды етеді.

Металдардың кең ауқымы қолданылады, олардың әрқайсысы белгілі бір функционалдық артықшылықтарға байланысты таңдалады:

Электроника мен аралық қабаттарға арналған іргетас металдары

Жоғары тазалықтағы мыс ерекше электр өткізгіштігімен бағаланады. 99,9995% таза мыс нысанасы озық микрочиптердің ішіндегі микроскопиялық сымдарды (өзара қосылыстарды) жасау үшін өте маңызды, мұнда жылдамдық пен тиімділік үшін минималды электр кедергісі өте маңызды.

Жоғары тазалықтағы никель әмбебап жұмыс құралы ретінде қызмет етеді. Ол негізінен тамаша адгезия қабаты және сенімді диффузиялық тосқауыл ретінде қолданылады, әртүрлі материалдардың араласуына жол бермейді және көп қабатты құрылғылардың құрылымдық тұтастығы мен ұзақ мерзімділігін қамтамасыз етеді.

Вольфрам (W) және молибден (Mo) сияқты отқа төзімді металдар жоғары ыстыққа төзімділігі мен тұрақтылығы үшін бағаланады, көбінесе берік диффузиялық кедергілер және қиын орталарда байланыс үшін қолданылады.

Мамандандырылған функционалды металдар

Жоғары тазалықтағы күміс кез келген металдың ішіндегі ең жоғары электрлік және жылу өткізгіштігін ұсынады. Бұл оны сенсорлық экрандарға жоғары өткізгіш, мөлдір электродтарды және энергия үнемдейтін терезелерге тамаша шағылыстыратын, төмен сәулелену жабындарын жағуға өте ыңғайлы етеді.

Алтын (Au) және платина (Pt) сияқты бағалы металдар өте сенімді, коррозияға төзімді электрлік контактілер үшін және мамандандырылған сенсорларда қолданылады.

Титан (Ti) және тантал (Ta) сияқты өтпелі металдар өздерінің тамаша адгезия және тосқауыл қасиеттері үшін өте маңызды, олар көбінесе басқа материалдарды қолданар алдында негіз қабатын түзеді.

Бұл әртүрлі материалдық құралдар жиынтығы заманауи технологияларды қолдануға мүмкіндік берсе де, өткізгіштік үшін мыстың, сенімділік үшін никельдің және жоғары шағылысу үшін күмістің өнімділігі олардың тиісті қолданылуында теңдесі жоқ болып қала береді. Бұл жоғары тазалықтағы металдардың тұрақты сапасы жоғары өнімді жұқа қабықшалы жабындардың негізі болып табылады.


Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 24 қараша